「鄧院長，我代表京城半導體公司，獎勵研發部500萬元。」

    啪啪

    8月15日，接到總經理魏建國的電話，京城光刻機研究院研發成功了90nm製程工藝光刻機，孫健非常高興，第二天上午就乘飛機從江城來到京城，在京城光刻機研究院會議室接見了包括院長鄧國輝院士、副院長歐陽明院士、副院長陳偉長院士、光刻機自動化研究所所長夏季常院士在內的200多名90nm製程工藝光刻機研發部的研發人員。

    京城光刻機研究院在不到一年的時間內研發成功90nm光刻機，厚積薄發，孫健不會感到驚訝，經過近9年的快速發展，加上捨得投資，京城光刻機研究院下屬10家研究所（部）人才濟濟，國內近八成的頂尖光刻機人才都在這裏。

    京城半導體公司擁有4名光刻機專業頂尖的院士，教授、研究員、教授級工程師近百人，這在國內科研院所和公司中都是絕無僅有的事情。

    如今沒有專業博士文憑，很難進入京城光刻機研究院。

    1998年9月，GCA和Nikon先後研發成功90nm製程工藝的光刻機；2000年8月，Intel、IBM、IT、AMD、HP各自投資25億美元（包括基建費用）建設的一條12英寸晶圓、90nm製程工藝的半導體生產線先後量產。

    2000年，ASML、Canon、SVG先後研製成功90nm製程工藝的光刻機。

    1999年，PGCA半導體公司申請從GCA購買一條12英寸晶圓、90nm製程工藝的半導體生產線，但遭到美國商務部否決，重新申請購買一條12英寸晶圓、180製程工藝的半導體生產線，3個月後才批准，2000年12月7日，這條生產線才量產。

    得隴望蜀！

    2000年12月底，孫健慫恿中村三郎代表曙光東芝晶圓公司，從東芝公司引進一條12英寸晶圓、90nm製程工藝的半導體生產線，但遭到日本半導體協會拒絕；曙光東芝晶圓公司花費15億美元（包括從BSEC採購40台250nm製程工藝的光刻機）從日本引進了一條12英寸晶圓、180nm製程工藝的半導體生產線，如今還處於設備安裝階段，9月下旬試生產。

    國內有了二條12英寸晶圓、180nm製程工藝的半導體生產線，台積電、三星都只有一條。

    京城半導體公司（BSEC）研製成功的90nm製程工藝的光刻機雖然比GCA和Nikon晚了近三年的時間，比ASML、Canon、SVG晚了一年多的時間，但已經是一項了不起的成就。美西方國家禁止出口最先進的技術和生產線給國內，孫健多次遭遇「有米無鍋」的局面。

    1993年3月，孫健奉命接手工業部四十五所、中K院微電子研究中心和中K院滬海光學精密機械研究所及其配套工廠，組建BSEC，BSEC生產的光刻機，製程工藝同GCA和Nikon相比，相差四代，落後20年都不止！

    BSEC同中K院、華清、燕大、哈工大、國科大、華中大學、滬海矽片製造廠、冰城光源材料廠、金城激光器製造廠、金城金屬氣體廠等97家科研院所和公司長期保持合作關係，聯合開發單晶矽、光源材料、激光器材料和光刻氣體等技術攻關項目。

    半導體產業發展日新月異，要不是全球光刻機產業被193nm波長的世界性光學難題卡住了，GCA和Nikon早就研製65nm製程工藝，甚至40nm製程工藝的光刻機了。

    一步先步步先，光刻機的製程工藝不是花錢就能迅速解決的技術難題。

    孫健將BSEC趕上GCA和Nikon的希望主要寄托在全球光刻機產業被

    卡在193nm波長的世界性光學難題上。

    BSEC藉助於出售磁懸浮式雙工作枱系統技術收取的專利費，於1995年實現盈利後，拿到了特批的上市額度，在鵬交所公開發行了15億股（包括1000萬職工股），發行價6元，融資873億元（扣除發行費用），其中8億元用於研發8英寸晶圓和500nm製程工藝光刻機，073億元用於補充公司流動資金。

    總

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